ပရော်ဖက်ရှင်နယ် ရှုထောင့်မှကြည့်လျှင် ချစ်ပ်တစ်ခု၏ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်သည် အလွန်ရှုပ်ထွေးပြီး ပျင်းစရာကောင်းသည်။သို့သော်လည်း IC ၏ ပြီးပြည့်စုံသောစက်မှုကွင်းဆက်မှ၊ ၎င်းကို အဓိကအားဖြင့် လေးပိုင်းခွဲထားသည်- IC ဒီဇိုင်း → IC ထုတ်လုပ်မှု → ထုပ်ပိုးမှု → စမ်းသပ်ခြင်း ။
Chip ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်
1. ချစ်ပ်ဒီဇိုင်း
ချစ်ပ်သည် သေးငယ်သော်လည်း တိကျမှုအလွန်မြင့်မားသော ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ချစ်ပ်တစ်ခုဖန်တီးရန်၊ ဒီဇိုင်းသည် ပထမပိုင်းဖြစ်သည်။ဒီဇိုင်းသည် EDA tool နှင့် IP core အချို့၏အကူအညီဖြင့် လုပ်ဆောင်ရန်အတွက် လိုအပ်သော ချစ်ပ်ဒီဇိုင်း၏ ချစ်ပ်ဒီဇိုင်း၏အကူအညီ လိုအပ်ပါသည်။
Chip ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်
1. ချစ်ပ်ဒီဇိုင်း
ချစ်ပ်သည် သေးငယ်သော်လည်း တိကျမှုအလွန်မြင့်မားသော ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ချစ်ပ်တစ်ခုဖန်တီးရန်၊ ဒီဇိုင်းသည် ပထမပိုင်းဖြစ်သည်။ဒီဇိုင်းသည် EDA tool နှင့် IP core အချို့၏အကူအညီဖြင့် လုပ်ဆောင်ရန်အတွက် လိုအပ်သော ချစ်ပ်ဒီဇိုင်း၏ ချစ်ပ်ဒီဇိုင်း၏အကူအညီ လိုအပ်ပါသည်။
3. ဆီလီကွန်-lifting
ဆီလီကွန်ကို ခွဲပြီးနောက် ကျန်ပစ္စည်းများကို စွန့်ပစ်ပါ။အဆင့်များစွာရှိပြီးနောက် ဆီလီကွန်စစ်စစ်သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏ အရည်အသွေးသို့ရောက်ရှိသွားပါသည်။ဒါကို အီလက်ထရွန်းနစ် ဆီလီကွန်လို့ခေါ်တယ်။
4. ဆီလီကွန်-casting ingots
သန့်စင်ပြီးနောက်၊ ဆီလီကွန်ကို ဆီလီကွန်အပေါက်ထဲသို့ ထည့်သင့်သည်။အီလက်ထရွန်းနစ်အဆင့် ဆီလီကွန်တစ်ခု၏ ပုံဆောင်ခဲတစ်ခုသည် 100 ကီလိုဂရမ်ခန့် အလေးချိန်ရှိပြီး ဆီလီကွန်၏ သန့်စင်မှုသည် 99.9999% အထိရှိသည်။
5. ဖိုင်ကိုလုပ်ဆောင်ခြင်း။
ဆီလီကွန် လောင်းထည့်ပြီးနောက်၊ ဆီလီကွန်ထည့်ထားသော အတုံးတစ်ခုလုံးကို အပိုင်းပိုင်းပိုင်းဖြတ်ထားရမည်ဖြစ်ပြီး အလွန်ပါးလွှာသော wafer ဟုခေါ်သော wafer ဖြစ်သည်။ထို့နောက် wafer ကို ပြီးပြည့်စုံသည်အထိ ပွတ်ပြီး မျက်နှာပြင်သည် မှန်ကဲ့သို့ ချောမွေ့သည်။
ဆီလီကွန်ဝေဖာများ၏ အချင်းသည် 8 လက်မ (200 မီလီမီတာ) နှင့် အချင်း 12 လက်မ (300 မီလီမီတာ) ဖြစ်သည်။အချင်းပိုကြီးလေ ချစ်ပ်တစ်လုံး၏ ကုန်ကျစရိတ် သက်သာလေ၊ သို့သော် စီမံဆောင်ရွက်ရခက်ခဲလေလေဖြစ်သည်။
5. ဖိုင်ကိုလုပ်ဆောင်ခြင်း။
ဆီလီကွန် လောင်းထည့်ပြီးနောက်၊ ဆီလီကွန်ထည့်ထားသော အတုံးတစ်ခုလုံးကို အပိုင်းပိုင်းပိုင်းဖြတ်ထားရမည်ဖြစ်ပြီး အလွန်ပါးလွှာသော wafer ဟုခေါ်သော wafer ဖြစ်သည်။ထို့နောက် wafer ကို ပြီးပြည့်စုံသည်အထိ ပွတ်ပြီး မျက်နှာပြင်သည် မှန်ကဲ့သို့ ချောမွေ့သည်။
ဆီလီကွန်ဝေဖာများ၏ အချင်းသည် 8 လက်မ (200 မီလီမီတာ) နှင့် အချင်း 12 လက်မ (300 မီလီမီတာ) ဖြစ်သည်။အချင်းပိုကြီးလေ ချစ်ပ်တစ်လုံး၏ ကုန်ကျစရိတ် သက်သာလေ၊ သို့သော် စီမံဆောင်ရွက်ရခက်ခဲလေလေဖြစ်သည်။
7. Eclipse နှင့် ion ဆေးထိုးခြင်း။
ပထမဦးစွာ၊ photoresist အပြင်ဘက်တွင်ရှိသော ဆီလီကွန်အောက်ဆိုဒ်နှင့် ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်ကို ချောထုတ်ရန် လိုအပ်ပြီး ပုံဆောင်ခဲပြွန်ကြားတွင် လျှပ်ကာပြုလုပ်ရန် ဆီလီကွန်အလွှာကို တွန်းထုတ်ကာ အောက်ခြေဆီလီကွန်ကို ဖော်ထုတ်ရန် etching နည်းပညာကို အသုံးပြုပါ။ထို့နောက် ဘိုရွန် သို့မဟုတ် ဖော့စဖရပ်စ်ကို ဆီလီကွန်ဖွဲ့စည်းပုံထဲသို့ ထိုးသွင်းပြီးနောက် အခြားထရန်စစ္စတာများနှင့် ချိတ်ဆက်ရန်အတွက် ကြေးနီကို ဖြည့်သွင်းကာ ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံအလွှာတစ်ခုဖြစ်လာစေရန် ၎င်းတွင် အခြားကော်အလွှာကို လိမ်းပါ။ယေဘုယျအားဖြင့်၊ ချစ်ပ်တစ်ခုတွင် ရောယှက်နေသော အဝေးပြေးလမ်းမကြီးများကဲ့သို့ အလွှာများစွာပါရှိသည်။
7. Eclipse နှင့် ion ဆေးထိုးခြင်း။
ပထမဦးစွာ၊ photoresist အပြင်ဘက်တွင်ရှိသော ဆီလီကွန်အောက်ဆိုဒ်နှင့် ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်ကို ချောထုတ်ရန် လိုအပ်ပြီး ပုံဆောင်ခဲပြွန်ကြားတွင် လျှပ်ကာပြုလုပ်ရန် ဆီလီကွန်အလွှာကို တွန်းထုတ်ကာ အောက်ခြေဆီလီကွန်ကို ဖော်ထုတ်ရန် etching နည်းပညာကို အသုံးပြုပါ။ထို့နောက် ဘိုရွန် သို့မဟုတ် ဖော့စဖရပ်စ်ကို ဆီလီကွန်ဖွဲ့စည်းပုံထဲသို့ ထိုးသွင်းပြီးနောက် အခြားထရန်စစ္စတာများနှင့် ချိတ်ဆက်ရန်အတွက် ကြေးနီကို ဖြည့်သွင်းကာ ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံအလွှာတစ်ခုဖြစ်လာစေရန် ၎င်းတွင် အခြားကော်အလွှာကို လိမ်းပါ။ယေဘုယျအားဖြင့်၊ ချစ်ပ်တစ်ခုတွင် ရောယှက်နေသော အဝေးပြေးလမ်းမကြီးများကဲ့သို့ အလွှာများစွာပါရှိသည်။
တင်ချိန်- ဇူလိုင်-၀၈-၂၀၂၃